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HORIBA S49 31/MT气体质量流量控制器

产品时间:2019-06-28

简要描述:

HORIBA S49 31/MT气体质量流量控制器$n订货号S49加工定制是货号s49$n品牌HORIBA型号S49 31/MT类型质量流量控制器$n测量范围0.05~0.3)MPa; (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min(m3/h)精度等级±1%F.S(10mL/min~5L/min规格,其余规格≤±2% F.S)公称通径-(mm)

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 HORIBA S49 31/MT气体质量流量控制器

S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标

编号 项目 S49 31/MT S49 31A/MT
1 流量规格 (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(0~1,2,3,5)L/min
2 调节阀类型 电磁调节阀  
3 调节阀静止状态 常闭  
4 准确度 ±1%F.S(10mL/min~5L/min规格,其余规格≤±2% F.S)
5 线性 ±1.0%F.S,±1.5%F.S
6 重复精度 ±0.2%F.S
7 响应时间 (3~4)s
8 工作压差范围 (0.05~0.3)MPa;           (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min
9 耐压 3MPa;           10MPa
10 工作环境温度 5℃~45℃
11 材料 不锈钢316L
12 标准密封材料 Viton®,    EPDM,  或其他由用户指定
13 漏率 1×10-9atm.mL/s (He)
14 接头 Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),
软管接头Ф4mm~Ф10mm  或其他
15 输入输出信号 0V~+5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16 供电电源 ±15V(±2%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)
17 外形尺寸mm 134×134×38
18 重量kg 1.0

 


S49 31/MT 系列质量流量控制器外形及安装尺寸

HORIBA S49 31/MT气体质量流量控制器

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