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HORIBA STEC SEC-Z512KX质量流量控制器

产品时间:2019-06-28

简要描述:

日本HORIBA STEC SEC-Z512KX高精度气体质量流量控制器$nHORIBA STEC提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择适合的阀门类型。HORIBA STEC SEC-Z512KX质量流量控制器

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HORIBA STEC SEC-Z512KX质量流量控制器

     HORIBA STEC提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择适合的阀门类型。我们可提供三种阀门,客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式,包括模拟式、数字式、DeviceNet™,以及PROFIBUS™,RS485,cc-link,(取决于产品型号)。

        HORIBA STEC使用户自己在现场改变气体种类或满量程流量成为可能。我们的Z500设置软件让随需改规格成为可能。而且更为便利的是,这些更改可以在不拆卸MFC的条件下完成。这减少了用户需要储备的备用MFC的数量,同时也能节省时间和成本。

气体种类

MR/MG

号码

N2

Ar

H2

SF6

HBr

WF6

SEC-Z51nX系列

R01

3 – 10

4 – 11

1 – 3

R1.5

 

 

 

 

1

8 – 30

11 – 35

8 – 30

3 – 11

5 – 9

1.5

 

 

 

 

9 – 17

2

25 – 100

35 – 110

25 – 100

9 – 36

15 – 28

5 – 6

2.5

 

 

 

 

25 – 50

6 – 11

3

75 – 300

110 – 350

75 – 300

28 – 100

44 – 86

11 – 20

3.5

 

 

 

 

79 – 150

19 – 37

4

250 – 1000

350 – 1100

250 – 1000

90 – 350

150 – 280

34 – 67

4.5

 

 

 

 

280 – 540

60 – 110

5

750 – 3000

1100 – 3500

750 – 3000

260 – 1000

470 – 930

110 – 200

5.5

 

 

 

 

860 – 1700

190 – 370

6

2500 – 10000

3500 – 11000

2500 – 10000

780 – 3100

1600 – 3100

360 – 700

SEC-Z52nX系列

6.5

 

 

 

 

7

10000 – 30000

10000 – 30000

10000 – 30000

8

30000 – 50000

30000 – 50000

30000 – 50000

 

质量流量控制器型号

*1

SEC-Z512KX

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

 

 

 

SEC-Z512X

SEC-Z522XN

SEC-Z522X

质量流量计型号

*1

SEF-Z512KX

SEF-Z512MGX

SEF-Z522MGXN

SEF-Z522MGX

 

 

 

SEF-Z512X

SEF-Z522XN

SEF-Z522X

 

 

 

全量程流量

(氮气转换流量)

 

 

 

1/2SCCM

MR/MG 编号#R1.5: 17.5 SCCM

#1.5: 55SCCM

#2.5: 175 SCCM

#3.5: 550 SCCM

#4.5: 1.75SLM

#5.5: 5.5SLM

#R01: 10SCCM

#01: 30SCCM

#02: 100 SCCM

#03: 300 SCCM

#04: 1 SLM

#05: 3 SLM

#06: 10 SLM

 

 

MR/MG 编号#6.5: 22 SLM

#07: 30 SLM

#08: 50 SLM

阀类型

O: 全开 C: 全闭

阀全闭时流量

≤ 2%F.S

流量控制范围

2~100% F.S

流量监测范围(SEF)

0~100% F.S

精度

*2

±1.0% F.S

±1.0% S.P. (设定流量>25%F.S.) ±0.25% F.S. (设定流量≤25%F.S.)

工作温度

5 ~ 50°C (推荐温度范围: 15 ~ 45°C)

响应时间

≤ 1 秒: 流量控制范围

线性

≤±0.5%F.S

重复性

≤±0.2%F.S

工作压差

50 ~ 300 kPa(d)

50 ~ 300 kPa(d)

#5.5, #06: 100 ~ 300 kPa (d)

200 ~ 300 kPa(d)

工作压差(SEF)

≤ 300 kPa (d)

最大工作压力

450 kPa (g)

最大承受压力

1000 kPa (g)

外漏

≤ 5 x 10-12Pa·m3/s (He)

流量设定信号

0.1 ~ 5V DC(2% ~ F.S); 输入阻抗1MΩ或更高

流量输出信号

0 ~ 5 V DC (0% ~F.S.); 最小负载电阻2kΩ或更高

数字接口

具备地址功能n: RS-485 (传送速率 38,400 bps) F-Net 协议

内部接触表面

316L 不锈钢 (表面抛光)

电源供应

 

 

+15V 5% 150mA

-15V5%150mA

 

信号响应

模拟式:D-Sub9-pin (顶部) 数字式: 2LANjacks (顶部)

标准接头

*3

1/4 英寸VCR相当

可选: 1.125英寸 IGS, 1.5英寸 IGS

1/4 英寸 VCR相当

可选: 1.125英寸 IGS

1.5英寸 IGS

安装方向

自由

 HORIBA STEC SEC-Z512KX质量流量控制器

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