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HORIBA SEC-E50(MK3)质量流量控制器

产品时间:2019-06-24

简要描述:

HORIBA SEC-E50(MK3)质量流量控制器
Horiba SEC-E50 质量流量控制器Horiba MFC被应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。

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HORIBA SEC-E50(MK3)质量流量控制器

Horiba SEC-E50 质量流量控制器在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量300sccm到流量30slpm的控制。

 

概要

·  适用于范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM500SLM(N2)的流量控制

·  适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有多的销售业绩。

·  低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号: SEC-E40MK3SEC-E50MK3

 

技术规格

型号

SEC- (质量流量控制器)

SEC-E40SEC-E40MK3

SEC-E50SEC-E50MK3

SEF- (质量流量计)

SEF-E40

E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2O2、空气、H2ArHe)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时 关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
  (适于SEC系列)

2?100% F.S.

流量测量范围
  (适于SEF系列)

0?100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值 
  (
适于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用压力
  (适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用环境温度

5?50(精度的确保:15?35)

流量设定信号

0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量输出信号

0?5VDC(zui小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA

 -15VDC ±5% 150mA 3VA

15VDC ±5% 50mA

?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型

 

*1:关于记载以外的气体种类,请另行咨询协商。 
*2
也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。 
SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:zui大值300kPa(G)SEC-70/80:zui大值350kPa(G)以下。
 SCCMSLM是表示气体的流量单位(mL/minL/minat0101.3kPa)的记号。

HORIBA SEC-E50(MK3)质量流量控制器

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